二手日立+日本電子掃描電鏡主要特長(zhǎng)

優(yōu)秀電子光學(xué)系統(tǒng)                                                           

JSM-IT200A是株式會(huì)社最新升級(jí)版機(jī)型，集合了分析掃描電鏡精髓功能，結(jié)構(gòu)緊湊、節(jié)省空間，分辨率高。

操作舒適快捷                                                                  

JSM-IT200A擁有非常直觀的操作系統(tǒng)，即使沒(méi)有經(jīng)驗(yàn)的用戶(hù)也可進(jìn)行操作高品質(zhì)的SEM圖像，以及高效率元素分析?？芍С植僮饔|摸屏。

安裝的靈活性                                                                           

節(jié)省空間，安裝方便。一個(gè)電源插座就足以安裝。不需要任何冷卻水。

二手日立+日本電子掃描電鏡中用來(lái)產(chǎn)生圖像的信號(hào)源于電子束與樣品中不同深度的原子相互作用。因此而產(chǎn)生各種類(lèi)型的信號(hào)包括二次電子(Secondary electron, SE)、反射或背散射電子(Back-scattered electron, BSE)、特征X射線和光線(陰極射線發(fā)光)(CL)、吸收電流(樣品電流)和透射電子。 二次電子探測(cè)器是所有掃描電鏡的標(biāo)配。

在二次電子成像(Secondary electron imaging, SEI)中，二次電子是從樣品表層發(fā)射的。因此，SEI可以產(chǎn)生超高分辨率的樣品表面圖像并顯示尺寸小于1納米的細(xì)節(jié)。背散射電子(BSE)是通過(guò)彈性散射從樣品反射的成束電子。它們的發(fā)射位置在樣品更深處，因此BSE圖像的分辨率低于SE。然而，BSE與從特征性X射線獲得的光譜通常用于分析型SEM，因?yàn)锽SE信號(hào)的強(qiáng)度與樣品的原子序數(shù)(Z)密切相關(guān)。BSE圖像可以提供樣本中不同元素的分布信息，但不能提供結(jié)構(gòu)信息。 在主要由輕元素組成的樣本中，例如生物樣本，BSE成像可以對(duì)直徑為5-10 nm的膠態(tài)金免疫標(biāo)記成像，而這很難或不可能利用二次電子成像檢測(cè)到。 當(dāng)電子束從樣品中激發(fā)出內(nèi)殼層電子時(shí)，樣品會(huì)發(fā)射出特征X射線，這是因?yàn)楦吣茈娮映錆M(mǎn)殼層并釋放能量。這些特征X射線的能量或波長(zhǎng)可以通過(guò)能譜儀Energy-dispersive X-ray spectroscopy, EDX）或波譜儀（Wavelength-dispersive X-ray spectroscopy）測(cè)量，并可用于識(shí)別和測(cè)量樣品中的元素豐度進(jìn)而繪制元素分布圖。

由于樣品臺(tái)的限制，SEM樣品必須足夠小，同時(shí)可能需要特殊的預(yù)處理來(lái)增加樣品的電導(dǎo)率和穩(wěn)定性，以便樣品能夠承受高真空條件和高能電子束的轟擊。通常使用導(dǎo)電膠將樣品牢固地安裝在樣品臺(tái)或短柱上。SEM被廣泛用于半導(dǎo)體晶片的缺陷分析，制造商制造出可以檢查尺寸為300 mm的半導(dǎo)體晶片的任何部位的儀器。許多儀器都有著可以將該尺寸的物體傾斜45°并提供連續(xù)360°旋轉(zhuǎn)的腔室。