產(chǎn)品名稱(chēng):安捷倫二手ICP-ms
產(chǎn)品型號(hào):7500CX
更新時(shí)間:2020-04-12
產(chǎn)品特點(diǎn):安捷倫二手ICP-ms無(wú)機(jī)元素和同位素分析技術(shù),可快速同時(shí)檢測(cè)周期表上幾乎所有元素。ICP-MS技術(shù)在分析能力上,超過(guò)傳統(tǒng)的無(wú)機(jī)分析技術(shù)如電感耦合等離子體光譜技術(shù)(ICPAES)、石墨爐原子吸收(GFAAS)和汞冷原子吸收技術(shù)(CVAAS)的總和。
產(chǎn)品詳細(xì)資料:
安捷倫二手ICP-ms:分析特點(diǎn)
可快速同時(shí)檢測(cè)周期表上幾乎所有元素
低檢出限(低至ppq級(jí))
分析效益/成本比
線(xiàn)性動(dòng)態(tài)范圍寬—可直接檢測(cè)從ppq到數(shù)百ppm濃度
譜線(xiàn)簡(jiǎn)單、干擾小,準(zhǔn)確度和精密度好
需要樣品量很低(ul至ml),分析速度很快(1——3分鐘/樣品)
檢測(cè)模式靈活多樣
半導(dǎo)體工業(yè)常用材料中超痕量污染物分析:
固體:Si;GaAa單晶切片;石英、碳化硅等爐材料;高純金屬電極等
Agilent ICP-MS可直接分析有機(jī)樣品:
Agilent ICP-MS的高效能、高功率屏蔽矩冷等離子體技術(shù)已被用于測(cè)定一系列有機(jī)樣品的ppt級(jí)痕量污染元素。
對(duì)其中一些樣品,其他方法無(wú)法獲到滿(mǎn)意的結(jié)果,高功率屏蔽矩冷等離子體技術(shù)是種分析方法。
強(qiáng)堿性清洗劑——四甲基氫氧化氨(TMAH)等
高基體樣品——光刻膠、液晶、BPSG、PSG等揮發(fā)性*的清洗劑
安捷倫二手ICP-ms進(jìn)樣系統(tǒng)
標(biāo)配的進(jìn)樣系統(tǒng)一般是一個(gè)霧化器和霧室,蠕動(dòng)泵作為進(jìn)樣動(dòng)力,這兩個(gè)廠家的進(jìn)樣系統(tǒng)也都有自己的設(shè)計(jì)。
PE ELAN DRC-e標(biāo)配的進(jìn)樣系統(tǒng)是強(qiáng)耐腐蝕的正交霧化器和Ryton霧室,優(yōu)點(diǎn)是耐高濃度的HF、堿、王水和有機(jī)溶劑,缺點(diǎn)是霧化效率低,靈敏度相對(duì)要低。
Agilent 7500標(biāo)配為Peltier冷卻的石英微同心霧化器和石英筒形Scott霧室,并且在進(jìn)樣器上增加了HMI設(shè)計(jì),這些進(jìn)樣器的優(yōu)點(diǎn)是霧化效率高,冷卻霧化能降低多原子干擾離子的生成,減少取樣量的同時(shí)滿(mǎn)足普通進(jìn)樣的耐高鹽,缺點(diǎn)是不耐氫fu酸。
進(jìn)樣系統(tǒng)都可拆換,兩家公司也配備了多種類(lèi)型的進(jìn)樣裝置工客戶(hù)更換。
離子源:
ICP的裝置主要是由中心噴射管,矩管和射頻發(fā)生器(RF線(xiàn)圈)組成。PE ELAN DRC-e和Agilent 7500的中心噴射管和矩管都可根據(jù)用戶(hù)的實(shí)際需要更換為耐HF酸的或不耐HF酸的。至于RF線(xiàn)圈,PE采用 40.68 MHz激發(fā)頻率,Agilent是固態(tài)數(shù)控27.12 MHz激發(fā)頻率。
這里要提一下,PE的炬管拆裝都比較麻煩,XY 軸還是旋鈕手動(dòng)調(diào)節(jié),而Agilent的設(shè)計(jì)是接頭插拔,炬管拆裝比較容易,炬管的位置都可以通過(guò)馬達(dá)自動(dòng)定位。
接口:
樣品通過(guò)進(jìn)樣系統(tǒng)送入等離子體,然后以霧化的電離狀態(tài)到了接口部分,也就是錐。這兩款都是雙錐設(shè)計(jì)(采樣錐和截取錐),標(biāo)配的都是鎳錐。兩家公司也都能提供鉑錐,鉑錐比鎳錐更耐腐蝕,更經(jīng)用,本底更小,當(dāng)然更貴。兩家公司錐的不同是錐孔大小的設(shè)計(jì)。PE的采樣錐和截取錐的孔徑分別為1.1 mm和0.9 mm,而Agilent的則分別為1.0 mm和0.4 mm。我們可以看出兩家的采樣錐的孔徑是差不多的,截取錐則大不相同。當(dāng)然,錐大小各有利弊,但我傾向于錐孔小顯然容易鹽分沉積,沉積后對(duì)錐孔附近的進(jìn)樣環(huán)境、二次電離等都有較大的影響。
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